INFICON MPG400 PN351-011 高精度泄漏检测仪
工业级精密检测解决方案
INFICON MPG400 PN351-011采用第三代微流量传感技术，配备智能温压补偿算法，可在复杂工况下实现0.01sccm分辨率的高精度检测。通过MEMS传感器与数字信号处理器的创新组合，该设备在半导体晶圆制造、真空镀膜工艺、新能源电池封装等场景中展现出卓越的密封性检测能力。
核心技术参数
- 量程范围：0.1-1000 sccm (支持自动量程切换)
- 测量精度：±(1%读数 + 0.1sccm)
- 响应速度：＜800ms (T90@1bar)
- 压力范围：10^-4~10^5 Pa
- 通讯接口：RS485/Modbus RTU，可选PROFINET
- 防护等级：IP65防尘防水
- 工作温度：-20℃~55℃ (带自加热功能)
行业应用领域
半导体制造
晶圆反应腔体密封检测
真空锁泄漏率监控
工艺气体管路完整性验证
新能源装备
动力电池模组密封测试
燃料电池双极板检漏
电解槽压力容器验证
厦门雄霸专业服务
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